1、负责E-chuck陶瓷烧结生产线的搭建;
2、领导团队开发静电吸盘陶瓷板,确定其图纸、程式 和配方,设定最佳生产工艺参数,能制造出在 Etch/PVD/CVD/Implant 设备合格使用的陶瓷板,如 LAM KIYO、LAM FLEX 45 , LAM KIYO CX/EX,AMAT Producer, AMAT Endura, TEL Vigus 等机型;
3、负责维护、开发和优化工艺流程/操作规范以提升良率;
4、负责监控生产技术数据,并解决生产过程中的技术问题;
5、开发TEL、AMEC等公司系列产品的静电吸盘陶瓷板;
6、带领团队开发10nm及以下工艺使用的静电吸盘产品的技术。
任职资格:
1、具有15年以上12寸E-chuck陶瓷烧结经验;
2、清楚了解E-chuck陶瓷板烧结的配方、图纸、烧结参数和相关产品相关技术的 诀窍 ;
3、本科及以上学历,材料科学或其他相关专业,有很好的工作经验但无本科学历者可申请预审;
4、熟悉SiN、Al2O3、AlN陶瓷板生产知识和技术;
5、有多种材料烧结技术经验者优先;
6、了解E-chuck陶瓷板的结构,了解加热区的设计及其影响。